问答题
为什么要采用掺氯氧化，作用如何？
若在氧化中加Cl器件性能与洁净度都会改善作用：A.减弱二氧化硅移动离子（主要钠离子）玷污影响......
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问答题 比较干氧化、湿氧化和水汽氧化的特点。
问答题 常见的热氧化生长二氧化硅的方法有哪些？
问答题 简述影响氧化速率的因素？
