问答题
Poly（多晶硅）栅极形成的步骤大致可分为那些？
①Gate oxide（栅极氧化层）的沉积；②Poly film的沉积及SiON（在光刻......
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问答题 一般的离子注入层次（Implant layer）工艺制造可分为那几道步骤?
问答题 一般的阱区离子注入调整电性可分为那三道步骤？ 功能为何？
问答题 在STI的形成步骤中有一道liner oxide（线形氧化层）， liner oxide 的特性功能为何？
