填空题 FMS检测监控系统由设备工作状态监测控模块、（）模块、（）模块、FMS控制及信息处理检测监视模块、运行安全检测监视模块。

填空题 自动化加工监控系统主要由（）监测、特征提取、状态识别、决策和控制四个部分组成。

填空题 切削液处理系统为保证切削液达到必要的清洁度，可采用沉淀法、（）法和（）法。