单项选择题
AlSi合金中含Si比例一般为（）。
A.1%B.3%C.5%D.7%
单项选择题 CVD TiN TDMAT的载气是（）。
单项选择题 蒸发台真空度的要求一般（）。
单项选择题 溅射中用于轰击靶材的气体是（）。
