单项选择题
刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。
A.器件性能B.材料纯度C.生产效率D.成本
单项选择题 刻蚀机的精度主要取决于（）。
单项选择题 湿法刻蚀通常使用的刻蚀剂是（）。
单项选择题 干法刻蚀中常用的刻蚀气体有（）。
