问答题
软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？
目的：将光刻胶从液态转变为固态，增强光刻胶在晶体表面的附着力。使光刻胶含有5%-20%的残余溶剂。
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问答题 简述光刻工艺的8道工序
问答题 列出4种曝光技术，并说明那种分辨率最高，说明各种曝光技术的优缺点。
问答题 简述显影工艺的3个过程
