单项选择题
提高刻蚀选择性的方法包括（）。
A.优化刻蚀气体配比B.控制刻蚀温度C.选择合适的掩膜材料D.以上都是
单项选择题 刻蚀过程中的残余应力会导致（）。
单项选择题 刻蚀机的发展趋势是（）。
单项选择题 为保证刻蚀质量，刻蚀前需要对样品进行（）。
