问答题
简述热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点。
热分解反应：在简单的单温区炉中，在真空或惰性气体保护下加热基体至所需温度后，导入反应物气体使之发生热分解，最后在基体上沉......
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问答题 简述CVD热力学分析的主要目的。
问答题 简述离子镀膜技术的分类。
问答题 简述离子镀膜系统工作的必要条件。
