名词解释
离子化碰撞
当电子和原子或者分子碰撞时，会将部分能量传递到受原子核或分子核束缚的轨道上。
问答题 简述半导体工艺中等离子体最重要的三种碰撞
问答题 等离子体工艺在半导体制造中的应用
名词解释 离轴照明
