问答题
简述离子注入的原理？
离子注入是离子被强电场加速后注入靶中，离子受靶原子阻止，停留其中，经退火后杂质进入替位、电离成为具有电活性的杂质。这一过......
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问答题 为什么要引入离子注入技术，离子注入技术有哪些优势？
问答题 影响扩散速率的因素有哪些？
问答题 扩散的方式有哪三种？
