单项选择题
纳米级微结构的制作中,不仅取决于激光的波长,还取决于激光的()
A.脉冲宽度B.频率C.振幅D.光强
单项选择题 提出用于半导体蚀刻加工的LIGA法的科学家是来自于()
单项选择题 以下几种加工方法中不属于高能束流加工方式的是()
单项选择题 用于超精密研磨与抛光的MRF技术提出的时间约在()