问答题

【参考答案】

从硅气相外延工艺原理可知,硅外延生长的表面外延过程是外延剂在衬底表面被吸附后分解出Si原子,他迁移到达结点位置停留,之后......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)