问答题
简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理？
1.二极直流溅射：靶材为良导体，依靠气体放电产生的正离子飞向阴极靶，一次电子飞向阳极，放电依靠正离子轰击阴极所产生的二次......
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问答题 简述溅射机理？如何提高溅射率？
问答题 简述点蒸发和小平面蒸发源特性，如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。
问答题 如何解决蒸发过程中的分馏问题？
