问答题 薄层氧化过程需注意哪些要求？ 现采用的工艺有哪些？

问答题 在SiO2系统中存在哪几种电荷？他们对器件性能有些什么影响？工艺上如何降低他们的密度？

问答题 SiO2膜网络结构特点是什么？氧和杂质在SiO2网络结构中的作用和用途是什么？对SiO2膜性能有哪些影响？