名词解释
过刻蚀
刻蚀薄膜时，晶圆内的刻蚀速率和薄膜厚度并不完全均匀，主刻蚀后，会有少部分的薄膜留下，移除剩余薄膜的过程称为过刻蚀。
名词解释 负载效应
问答题 简述IC芯片工艺过程中包括的刻蚀工艺过程
名词解释 通道效应
