问答题
微电子器件对接触和互连有什么要求？获得良好欧姆接触的方法有哪几种？
对接触和互连有的基本要求有：1）能形成良好的欧姆接触；2）互连材料具有低的电阻率和良好的稳定性；......
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名词解释 外延
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名词解释 水汽氧氧化
