单项选择题
刻蚀机的分辨率与以下哪个因素无关（）？
A.光源波长B.镜头质量C.刻蚀气体种类D.样品表面平整度
单项选择题 以下哪种刻蚀方法适用于大规模生产（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的关键部件（）？
单项选择题 以下哪种材料对刻蚀的选择性较高（）？
