填空题 主轴伺服系统发生故障时，通常有三种形式，即（），（）和（）。

填空题 工作台超程一般设有两道限位保护，一个为（）限位，而另一个为（）限位。

填空题 故障诊断基本过程是：（）、（）、（）、（）、（）、（）。