问答题
描述各同向性和各向异性刻蚀剖面，以及在每一种剖面中哪一种是希望的哪一种是不希望的？
各向同性的刻蚀剖面在所有方向上以相同的刻蚀速率进行刻蚀，这将带来不希望的线宽损失。各向异性的刻蚀剖面即刻蚀只在垂直于硅片......
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问答题 列出按材料分类的三种主要干法刻蚀。
问答题 刻蚀的目的是什么？
问答题 列举下一代光刻技术中4种正在研发的光刻技术。
