填空题
实现超精密加工的技术支撑条件主要包括（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。
超精密加工机理与工艺方法；超精密加工机床设备；超精密加工工具；精密测量和误差补偿
填空题 电火花型腔加工的工艺方法有（）、（）、（）、简单电极数控创成法等。
填空题 电火花加工按工件和工具电极相对运动的关系可分为：电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花（）、电火花表面强化和刻字等类型。
填空题 影响电火花加工精度的主要因素有（）及其一致性、（）及其稳定性和（）。
