单项选择题 微传感器的加工工艺不包括（）。

单项选择题 光栅传感器分为物理光栅传感器和计量光栅传感器，物理光栅应用了（）现象。

单项选择题 在不同的环境的湿度测量应选用不同的湿度传感器，在污染严重的环境通常使用（）。