判断题
表征溅射特性的参量主要有溅射率、溅射阈、溅射粒子的速度和能量等。
正确
判断题 在气体成分和电极材料一定条件下,起辉电压V只与气体的压强P和电极距离的乘积有关。
判断题 薄膜形成与生长的三种模式:层状生长,岛状生长,层状-岛状生长。
判断题 薄膜的形成过程一般分为:凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程。