问答题
列出并描述I线光刻胶的4种成分。
1.树脂。光刻胶树脂是一种惰性的聚合物基质,用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂2.感光剂。是光刻胶材料......
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问答题 什么是负胶分辨率的限制,哪种胶应用在亚微米光刻胶中?
问答题 列出并描述两种主要的光刻胶。
问答题 给出硅片制造中光刻胶的两种目的。