判断题 扩散只用于浅结的制备

判断题 在LPCVD中，由于hG>>kS，即质量转移系数远大于表面反应速率常数，所以，LPCVD系统中，淀积过程主要是质量转移控制

单项选择题 离子注入与热扩散相比，哪个横向效应小（）