填空题 实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。

填空题 超声波加工主要是利用（）作用来去除材料的，同时产生的液压冲击和空化现象也加速了蚀除效果，故适于加工（）材料。

填空题 目前金刚石刀具主要用于（）材料的精密与超精密车削加工，而对于（）材料的精密与超精密加工，则主要应用精密和超精密磨料加工。