单项选择题 超微机械加工是指用精密金属切削和电火花、线切割等加工方法，制作毫米级尺寸以下的微机械零件，是一种（）加工技术，多为单件加工和单件装配。

单项选择题 超精密机床导轨部件要求有极高的（）精度，且其不能有爬行，导轨耦合面不能有磨损。

单项选择题 在超精密加工中，微量进给装置用于（）微量调整，以保证零件尺寸精度。