多项选择题
关于洁净区不同洁净度悬浮粒子的最大允许量,下列说法正确的是()
A.D级静态≥0.5μm为3520000/m3B.C级静态≥5.0μm为29000/m3C.D级静态≥5.0μm为29000/m3D.C级静态≥0.5μm为3520000/m3
多项选择题 关于洁净区的温湿度要求,下列说法正确的是()
多项选择题 关于不同级别的洁净区要求,下列说法正确的是()
多项选择题 关于洁净区的压差要求,下列说法正确的是()