单项选择题
刻蚀过程中的等离子体密度对刻蚀效果的影响是（）。
A.密度越高，刻蚀速率越快B.密度越高，刻蚀选择性越好C.密度越高，刻蚀均匀性越差D.密度越高，刻蚀损伤越大
单项选择题 刻蚀机的真空泵选择主要依据（）。
单项选择题 刻蚀机的定期校准周期通常为（）。
单项选择题 提高刻蚀均匀性的关键在于（）。
