问答题
实际氧化工艺为什么要采用先干氧、再湿氧、最后再干氧的氧化方法?
干氧的氧化速率最慢,但其氧化层质量最好。湿氧的氧化速率快,但其氧化层质量不如干氧工艺。实际氧化工艺多采用干氧-湿氧-干氧......
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问答题 为什么氧化层厚度越厚,热氧化生长的速率越慢?
问答题 Si片定位边或定位槽的作用是什么?
问答题 电子级poly-Si的纯度是多少?比较CZ法与FZ法制备Si单晶的优缺点。