单项选择题
以下哪种不是刻蚀机的故障类型（）？
A.机械故障B.电气故障C.软件故障D.外观故障
单项选择题 以下哪种不是影响刻蚀机稳定性的因素（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的软件功能（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的气体供应系统组成部分（）？
