问答题
哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
通常用于深紫外光刻胶的准分子激光器是波长为248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作为曝光源的准......
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问答题 如果光刻胶对光的吸收过多侧墙会怎样？
问答题 列出并描述光刻中使用的两种UV曝光光源。
问答题 描述曝光波长和图像分辨率的关系。
