填空题
HMDA装置的真空泵是（）式和（）式。
罗茨；活塞
填空题 HMDA装置的真空泵的位号是（）、（）、（）。
填空题 HMDA装置的真空泵的正常启动顺序是（）。
填空题 HMDA装置的真空泵的正常停止的顺序是（）。
