问答题
什么是等离子体？以及等离子体的分类（按电离程度）？
带正电的粒子与带负电的粒子具有几乎相同的密度，整体呈电中性状态的粒子集合体。按电离程度等离子体可分为：......
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问答题 真空蒸发系统应包括那些组成部分？
问答题 辉光放电过程中为什么P·d太小或太大，都不容易起辉放电？
问答题 简述物理气相沉积法的共同特点？
