问答题
MEMS的定义是什么？
完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。
问答题 MEMS的英文名是什么？
问答题 气敏传感器的特性？
问答题 从超声波的行进方向来看可分为哪两种基本类型？
