单项选择题
为了提高刻蚀的各向异性，通常采用（）。
A.增加刻蚀气体流量B.降低刻蚀温度C.采用离子束刻蚀D.以上都不是
单项选择题 刻蚀过程中，影响刻蚀轮廓的因素不包括（）。
单项选择题 刻蚀机的腔体材料通常需要具备（）。
单项选择题 刻蚀机的行业标准主要涉及（）。
