单项选择题
刻蚀机的维护成本主要包括（）。
A.零部件更换B.能源消耗C.人工费用D.以上都是
单项选择题 刻蚀机的性能评估指标不包括（）。
单项选择题 刻蚀机的安装环境要求（）。
单项选择题 刻蚀机的自动化程度越高，对操作人员的要求（）。
