问答题
LIGA技术
LIGA技术是一种由半导体光刻工艺派生出来的采用光刻方法一次生产三维空间微机械构件的方法。技术机理是由深层X射线光刻、电......
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问答题 光刻技术
问答题 简述微型机械加工技术的关键技术
问答题 超精密加工装备的特点
