单项选择题

A.过快易引起流挂或超厚,过慢达不到规定膜厚
B.过快达不到规定膜厚,过慢易引起流挂或超厚
C.过快引起流挂达不到规定膜厚,过慢易超厚
D.过快达不到规定膜厚,过慢易引起针孔