填空题 目前压电式传感器的常用的材料有（）、（）和高分子电致伸缩材料等三类，其中（）具有良好的温度稳定性，常用于高精度的测量。压电材料的（）效应还可以用来产生超声波。

填空题 在电感式传感器中，线圈之间的没有耦合的是（）式传感器，被测对象也是磁路一部分的是（）传感器。

填空题 自感式传感器主要有（）三种类型。