问答题
影响Contact （CT） Rc的主要原因可能有哪些？
①ILD CMP 的厚度是否异常；②CT 的CD大小；③CT&en......
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问答题 什么是Rc? Rc代表什么意义？
问答题 在量测Contact /Via（是指metal与metal之间的连接）的接触窗开的好不好时, 我们是利用什么电性参数来得知的?
问答题 Top metal和inter metal的厚度，线宽有何不同?
