问答题
有一台变间隙非接触式电容测微仪，其传感器的极板半径r=4mm，假设与被测工件的初始间隙δ0=0.3mm，已知极板间介质为空气，空气介电常数ε0=8.85*10-12F/m，试问 （1）如果传感器与工件的间隙变化量Δδ=+10μm，那么电容变化量为多少？ （2）如果测量电路的灵敏度K=100mV/pF，则在Δδ=+1μm时的输出电压为多少？
问答题 简述推导差动式电容传感器的灵敏度，并与单极式电容传感器相比较。
问答题 有一平面直线位移差动传感器，其测量电路采用变压器交流电桥，如图所示。电容传感器起始时b1=b2=b=200mm，a1=a2=20mm，极距d=2mm，极间介质为空气，测量电路ui=3sinωtV，且u=ui。试求当动极板上输入一位移量Δx=5mm时，电桥输出电压uo为多少？
问答题 为什么说变间隙型电容传感器特性是非线性的？采取什么措施可改善其非线性特征？
