问答题 电容式传感器的测量电路有哪些？

问答题 简述电容式传感器的工作原理。

问答题 有一只变极距电容传感元件，两极板重叠有效面积为8×10-4m2，两极板间的距离为1mm，已知空气的相对介电常数是1.0006，试计算该传感器的位移灵敏度。