多项选择题
能量束加工主要形式:()。
A.电子束微细加工B.聚焦离子束微细加工C.激光束微细加工D.光刻微细加工
判断题 在线电解修整(ELID)砂轮磨削-用于硬脆材料超精密镜面磨削。
判断题 可延性纳米级磨削-用于量块、光学平晶,集成电路的硅基片。
判断题 金刚石刀具超精密切削加工用于平面、圆柱面和非球曲面的镜面切削加工。