判断题
真空度低会导致沉积的金属膜容易发生氧化。
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判断题 PVD的优点是阶梯覆盖能力强。
多项选择题 Endura5500 degas腔的作用为（）。
多项选择题 TiN膜的三个用途包括（）。
