问答题
试述光刻加工的主要阶段?
光刻加工可分为两个加工阶段,第一阶段为原版制作,生成工作原版或工作掩膜,为光刻加工时用;第二阶段为光刻。
问答题 微型机械的特点有哪些?微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面?
问答题 超精密机床部件有什么特点,超精密机床的进给机构通常采用什么样装置?精密与超精密加工对环境有哪些要求?
问答题 精密磨削、精密与超精密砂带磨削机理。