问答题
从沉积速率和沉积温度出发,简述如何形成单晶或者粗大晶粒?如何形成多晶、微晶甚至非晶?请给出简单图示?
提高温度或降低沉积速率可以形成单晶或者粗大晶粒; 降低温度或提高沉积速率可形成多晶、微晶甚至非晶。
问答题 简述薄膜的生长模式及主要的控制因素?
问答题 简述薄膜在形成稳定核之前及之后的生长过程?
问答题 试述狭义薄膜材料的概念。