问答题
简述离子注入的通道效应和减小通道效应的方法
通道效应：如果一个电子以正确的角度进入通道，它只需要很少的能量就可以行进很长的距离。方法：（1）......
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填空题 离子注入的两种阻滞机制：（）
问答题 离子注入工艺和扩散工艺相比的优点
名词解释 平均自由程
