问答题
什么是阻挡层金肩？阻挡层材料的基本特性是什么？哪种金属常被用做阻挡层金属？
阻挡金属层是淀积金属或金属塞，用以阻止上下的材料互相混合。特性：1.有很好的阻挡扩散特性，结果分......
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问答题 列出并讨论引入铜金属化的五大优点。
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问答题 列举离子注入设备的5个主要子系统。
