问答题 掺氯氧化为何对提高氧化层质量有作用？

问答题 薄层氧化过程需注意哪些要求？ 现采用的工艺有哪些？

问答题 在SiO2系统中存在哪几种电荷？他们对器件性能有些什么影响？工艺上如何降低他们的密度？