单项选择题
提高刻蚀机的刻蚀选择性可以通过（）。
A.优化刻蚀气体成分B.调整刻蚀温度C.改进掩膜结构D.以上都是
单项选择题 刻蚀机的维护成本主要包括（）。
单项选择题 刻蚀机的性能评估指标不包括（）。
单项选择题 刻蚀机的安装环境要求（）。
